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小分子在線質譜儀
產品簡介

SSC-RGA6500小分子在線質譜儀的主要應用方向,半導體工業、真空鍍膜(PVD、CVD)、刻蝕、粒子加速器;CO2還原,程序升溫脫附、化學化工、儲能材料、硝酸根還原、燃料電池尾氣檢測、電-光-熱催化、汽車尾氣分析、電催化合成氨、熱分析、固定床、電解水析氫/析氧、扣電-軟包等電池產氣、光催化水制氫燃料電池研究、發酵微生物呼吸氣體監控、人呼吸監控、環境氣體分析、地質分析、冶金過程、各種催化過程等等

產品型號:SSC-RGA6500
更新時間:2025-03-18
廠商性質:生產廠家
訪問量:826
詳細介紹
品牌鑫視科產地類別國產
應用領域綜合

產品詳情:

SSC-RGA6500小分子在線質譜儀的主要應用方向,半導體工業、真空鍍膜(PVD、CVD)、刻蝕、粒子加速器;CO2還原,程序升溫脫附、化學化工、儲能材料、硝酸根還原、燃料電池尾氣檢測、電-光-熱催化、汽車尾氣分析、電催化合成氨、熱分析、固定床、電解水析氫/析氧、扣電-軟包等電池產氣、光催化水制氫燃料電池研究、發酵微生物呼吸氣體監控、人呼吸監控、環境氣體分析、地質分析、冶金過程、各種催化過程等等。

小分子在線質譜儀與TGA實現聯用,能夠快速地分析熱重測試過程中逸出氣體產物;在線質譜儀可與各種催化劑評價裝置,反應釜,氣相色譜等連用,在線實時檢測過程中的氣體組成及其含量;在線質譜儀可以與化學吸附儀連用,對程序升溫過程中的逸出氣體進行定性和定量分析。

產品優勢:

1.   進樣管加熱,可達350℃

2.   易操作界面,10英寸彩色觸摸屏,可全面控制儀器運行、采樣分析、顯示譜圖

3.   可烘烤真空室至180℃

4.   可定制版本,如特殊進氣系統、特殊外殼

5.   質量范圍標配1-200amu;可選1-100amu、、1-300amu

6.   軟電離選項(1-100eV)

7.   耗氣量低(1-2sccm)

8.   響應快(駐留時間最短1ms/amu)

典型應用:

組分分析

通過質量數判斷進樣氣體組分,得到真空系統中的工業氣體的成分和相對濃度信息,分析真空系統的密封性、脫附行為等,便于用戶判斷真空室及真空組件的狀態,如下圖中質譜圖所示

小分子在線質譜儀

過程檢測/檢漏

在設置的質量數范圍進行全掃描或選擇掃描,長時間對某幾類氣體進行監控(含報警功能)以觀察真空腔體內氣體組分濃度隨時間的變化,如下圖中時間趨勢圖所示

小分子在線質譜儀


技術參數及配置:

運行環境

環境溫度

15-35℃

相對濕度

≤85%

適用電源

220V(±10%),50Hz(±2%)

主要性能指標


★質量范圍

1-200 amu

進樣管

石英毛細管/不銹鋼毛細管

★毛細管溫度

≥350℃

腔體加熱溫度

≥200℃

進樣管入口壓力

0.5-2.5atm

進樣管長度

1m/2m

靈敏度

2.5E-4A/Pa

最小可檢測分壓

1.25E-10Pa

質量準確性

±0.10 amu

▲儀器最小檢測限

≤100ppb

檢測范圍

100ppb-100%

▲駐留時間

1ms – 16s/amu

▲分辨率@10%峰值高度

0.5-2amu可調

掃描方式

全掃描、選擇離子監測

整機尺寸(長×寬×高)

655×358×318 mm

▲重量

29.3kg

接口

以太網LAN×1、USB×1

離子源


離子源類型

開放式離子源

離子源配置

雙燈絲軟件切換

燈絲電流

1000μA

離子化能量

1-100eV

燈籠電壓

1-140V

質量分析器

★質量分析器

配備預四極的高精度全金屬雙曲面四極桿

四極桿尺寸

98.5*24.6*6 mm

檢測器

法拉第杯和電子倍增器,對低濃度物質使用法拉第杯檢測器,高濃度使用電子倍增器測定

真空系統

前級泵

無油隔膜泵,抽速≥0.6 m3/h

▲配置高性能渦輪分子泵,抽速≥67L/s

軟件工作站

★質譜儀全中文一體化控制軟件工作站

實時監控

可設置監測離子物質,設置監測強度閾值,超過一定分壓即實時查看到超標物質并打開蜂鳴器

對質譜圖中不同質量數進行元素定性功能

化合物定量MCD采集功能

通過加載已知組分含量的標準氣體,再新的樣品后可以得到對應化合物濃度

售后服務:

1.    安裝、校準與試運行:儀器制造廠授權技術員在買方用戶現場免費安裝調試,技術指標合格。

2.    培訓:提供技術服務,現場培訓內容(包括儀器基本原理、操作使用及日常保養維修等),培訓工作直至技術人員能獨立操作為止。

3.    質保與維修:儀器廠商提供1年的免費保修服務。

4. 技術資料:提供儀器設備的安裝、操作手冊、維修保養手冊等技術文件,及產品合格證、質量保證書和產品軟件等全套資料。







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